自動(dòng)化薄膜測繪

KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內(nèi)容：

• 集成光譜儀/光源裝置

• 光纖電纜

• 4", 6" and 200mm 參考晶圓

• TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)

• BK7 參考材料

• 整平濾波器 (用于高反射基板)

• 真空泵

• 備用燈

型號規(guī)格