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KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量，掃描范圍可達 200 毫米且無需拼接。HRP®-260配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結果。

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有優(yōu)良的圖形識別算法、增強的光學系統(tǒng)和優(yōu)良的樣品臺，可實現穩(wěn)定的性能和系統(tǒng)之間程式傳輸的無縫銜接 - 這是實現全天候生產的關鍵。

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強影像控制的高級光學系統(tǒng)。

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200毫米，無需拼接。

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達150毫米，無需拼接。