勻膠旋涂儀采用創(chuàng)新設(shè)計的托盤，無需真空泵或充氮氣，就能達(dá)到很好的旋涂效果；內(nèi)置調(diào)整水平裝置，較大限度的保證旋涂均勻；可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。勻膠旋涂儀隨意任意時間范圍的加減速，可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；這一系列的旋轉(zhuǎn)涂膜儀上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)。
　　勻膠旋涂儀主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。勻膠旋涂儀主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。勻膠旋涂儀能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗收試驗要求。
　　勻膠旋涂儀的特點：
　　1、該勻膠機采用德國先進技術(shù)：
　　2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
　　3、勻膠旋涂儀真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
　　4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
　　5、勻膠旋涂儀腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調(diào)壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。
　　勻膠旋涂儀在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。