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KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)它使用多通道檢測和基于規(guī)則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石和其他化合物半導(dǎo)體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)采用了專有的OSA（光學(xué)表面分析儀）架構(gòu)，可以同時(shí)測量散射強(qiáng)度、形貌變化、表面反射率和相位變化，從而對各種關(guān)鍵缺陷進(jìn)行自動檢測與分類。

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)為硬盤驅(qū)動器基板和介質(zhì)提供了高級缺陷檢測和分類功能。7100系列硬盤驅(qū)動器缺陷檢測和分類系統(tǒng)以經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的Candela產(chǎn)品系列為基礎(chǔ)，可幫助制造商對關(guān)鍵的亞微米缺陷進(jìn)行檢測和分類，如微凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷，從而最大限度地提高良率并降低總檢測成本。

KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)為金屬或玻璃數(shù)據(jù)存儲基板和成品介質(zhì)提供了先進(jìn)的量測和檢測功能。隨著數(shù)據(jù)存儲制造商努力通過進(jìn)一步降低磁頭飛行高度來提高設(shè)備存儲容量，控制磁盤表面的粗糙度變得越來越重要。6300系列光學(xué)表面分析儀利用業(yè)界最寬的空間帶寬覆蓋范圍(0.22-2000µm)和亞埃級本底噪聲來滿足對粗糙度和微觀波紋度進(jìn)行全面測量的要求。

KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)先進(jìn)的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SPC)的方法來進(jìn)行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導(dǎo)致的良率損失，最大限度地減少金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的工藝偏差，并增加MOCVD反應(yīng)器的正常運(yùn)行時(shí)間。

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統(tǒng)第二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進(jìn)行高級表征。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SPC)的方法來進(jìn)行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導(dǎo)致的良率損失，最大限度地減少金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的工藝偏差，并增加MOCVD反應(yīng)器的正常運(yùn)行時(shí)間。