微波去膠機(jī)主要利用微波能量激發(fā)等離子體，使氣體分子電離產(chǎn)生大量高能活性粒子。這些活性粒子與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將光刻膠分解為揮發(fā)性物質(zhì)，從而達(dá)到去除光刻膠的目的。例如，在氧氣環(huán)境中，微波激發(fā)產(chǎn)生的氧離子等活性粒子能與光刻膠中的有機(jī)成分反應(yīng)，將其氧化分解；關(guān)鍵部件及功能：
 

　　-微波源：是產(chǎn)生微波的核心部件，其頻率和功率決定了等離子體的產(chǎn)生效率和特性。通過調(diào)節(jié)微波源的功率，可以控制等離子體的強(qiáng)度和活性粒子的密度，從而影響去膠速度和效果。
 

　　-真空系統(tǒng)：用于抽取腔體內(nèi)的氣體，創(chuàng)造一定的真空環(huán)境。合適的真空度有助于增加電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程，使氣體分子更容易被微波電離，同時(shí)也有利于提高等離子體的穩(wěn)定性和均勻性。
 

　　-氣體控制系統(tǒng)：準(zhǔn)確控制進(jìn)入腔體的氣體種類和流量。不同的氣體在等離子體中會(huì)產(chǎn)生不同的活性粒子，對(duì)光刻膠的去除效果和基底的影響也不同。例如，氧氣常用于氧化去除光刻膠，氬氣則可用于物理濺射輔助去膠。
 

　　微波去膠機(jī)的主要類型：
 

　　-按頻率分：常見的有13.56MH和2.45GH兩種頻率的。13.56MH的在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，其等離子體密度較高，能實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的去膠處理；2.45GH的則常用于一些對(duì)去膠速度要求較高、精度要求稍低的場合。
 

　　-按腔體材質(zhì)分：可分為石英腔和不銹鋼腔等。石英腔的微波等離子系統(tǒng)具有更好的電磁兼容性和化學(xué)穩(wěn)定性，適用于對(duì)腔體純凈度要求較高的工藝，如半導(dǎo)體芯片制造；不銹鋼腔則成本相對(duì)較低，更耐腐蝕，適用于一些對(duì)腔體要求不特別苛刻的應(yīng)用。
 

　　微波去膠機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域：
 

　　-半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，用于去除光刻工序后的光刻膠，以及進(jìn)行干法刻蝕的前處理或后處理，能有效避免對(duì)芯片基底的損傷，提高芯片制造的良品率。
 

　　-電子封裝：可防止包封分層，提高焊線質(zhì)量、鍵合強(qiáng)度和封裝的可靠性，尤其適用于多接口的封裝。
 

　　-科研實(shí)驗(yàn)：在材料科學(xué)、微納加工等科研領(lǐng)域，用于樣品表面的清潔、改性和微觀結(jié)構(gòu)的制備等研究工作。