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關(guān)于SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī) SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子體清洗機(jī)基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進(jìn)一步提高了等離子體強(qiáng)度多達(dá) 3 倍。
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