Gas Mixers氣體混配器

簡要描述：Gas Mixers氣體混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源

產(chǎn)品型號：

所屬分類：氣體混配器

更新時(shí)間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

Gas Mixers氣體混配器是用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源的氣體混配器

Gas Mixers氣體混配器

關(guān)于Gas Mixers氣體混配器

SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源只能接受一個(gè)氣體輸入。對于某些研究項(xiàng)目，用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達(dá)三個(gè)質(zhì)量流量受控氣體輸入端口、一個(gè)排氣/旁路泵端口和一個(gè)混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應(yīng)連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送，排氣/旁通泵出口提供高電導(dǎo)泵送途徑，以排空氣體管。

Gas Mixers氣體混配器