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RSS-160-SC 緊湊型回流焊系統(tǒng) 加熱區(qū)域:160×160×65 毫米。升溫速率最高可達(dá) 120 開(kāi)爾文 / 分鐘。降溫速率:溫度從 400℃降至 200℃時(shí),為 120 開(kāi)爾文 / 分鐘;溫度從 200℃降至 50℃時(shí),為 90 開(kāi)爾文 / 分鐘。真空能力:VAC I:可達(dá) 3 百帕(含閥門和傳感器,不含泵 )。
2Z-HVS-100 高真空封裝機(jī) 用于 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))的封裝。兩種型號(hào)可選。溫度最高可達(dá) 450°C。上下加熱設(shè)計(jì)。真空環(huán)境下升溫降溫速率最高 20 K / 分鐘。水平方向自動(dòng)開(kāi)合。
2Z-HVS-200 高真空封裝機(jī) 用于 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))的封裝。兩種型號(hào)可選。溫度最高可達(dá) 450°C。上下加熱設(shè)計(jì)。真空環(huán)境下升溫降溫速率最高 20 K / 分鐘。水平方向自動(dòng)開(kāi)合。
VSS-650 真空焊接系統(tǒng) 適用于最大尺寸達(dá) 600 毫米 ×600 毫米的基板。升溫速率最高可達(dá) 240 開(kāi)爾文 / 分鐘,降溫速率最高可達(dá) 90 開(kāi)爾文 / 分鐘。配備 10 英寸觸控面板的 SIMATIC® 控制器。真空度可達(dá) 10?³ 百帕(可選配至 10??百帕 )。帶有用于氮?dú)獾馁|(zhì)量流量控制器的工藝氣體管路。溫度最高可達(dá) 450 攝氏度。
RSS-3X210 緊湊型回流焊系統(tǒng) 適用于最多 12 片直徑為 100 毫米的晶圓。溫度最高可達(dá) 300°C。升溫速率最高可達(dá) 120 開(kāi)爾文 / 分鐘。降溫速率為 60 開(kāi)爾文 / 分鐘。真空度可達(dá) 10?³ 百帕。