Model 659 紫外線光強與能量計
簡要描述：Model 659 紫外線光強與能量計由OAI設(shè)計與制造。適用于所有晶圓步進光刻機的 659 型紫外線光強與能量計 。
產(chǎn)品型號：
所屬分類：Model 659 紫外線光強與能量計
更新時間：2025-07-09
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
詳情介紹
Model 659 紫外線光強與能量計
半個多世紀以來，OAI 在紫外線光強與能量測量儀器領(lǐng)域一直較高水平。該儀器能為半導(dǎo)體、微機電系統(tǒng)（MEMS）、晶圓封裝及晶圓凸點制作行業(yè)的光刻工藝，提供可靠、精準且經(jīng)校準的控制。659 型是一款*的紫外線曝光分析儀，專為適配各類晶圓步進光刻機（包括高強度晶圓步進光刻機 ）而設(shè)計。這款儀器可存儲多達 400 組曝光讀數(shù)，配備以太網(wǎng)和 USB 接口用于下載已記錄的測量數(shù)據(jù)，光強量程最高可達 7500 毫瓦每平方厘米 。探頭可選波長為 365 納米、400 納米、420 納米和 436 納米 。OAI 擁有完備的校準實驗室，以確保我們儀器的性能、質(zhì)量和可靠性 。659 型儀器可溯源至美國國家標準與技術(shù)研究院（NIST）標準，且符合 ROHS2（《關(guān)于限制在電子電氣設(shè)備中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（歐洲合格評定 ）認證要求 。
探頭
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用戶界面：觸摸屏
計算機接口：可選以太網(wǎng)和 USB 接口，用于下載已記錄的測量數(shù)據(jù)
電源：電池供電，采用帶充電保護的 3.7V 可充電鋰離子電池
充電器電源：110 - 240V 交流電壓
顯示設(shè)置：雙屏幕
設(shè)置屏幕 - 以太網(wǎng)地址、日期和時間
運行屏幕 - 波長、光強、時間、劑量、探頭溫度、探頭類型、偏差百分比、序列號、校準到期日期、電池狀態(tài)、探頭序列號及充電器狀態(tài)
存儲容量：最多 400 個讀數(shù)
光強范圍：最高 7500mW/cm2
光強分辨率：0.01mW/cm2
劑量范圍：最高 1000J/cm2
劑量分辨率：0.01mJ/cm2
時間范圍：最長 9999 秒
時間分辨率：0.0001 秒
最小劑量曝光：25 毫秒
尺寸：14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸
重量：3.5 磅
工作環(huán)境：15℃ - 40℃
合規(guī)性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標準
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