Model 6020 全自動掩模曝光機

簡要描述：Model 6020 全自動掩模曝光機由OAI設(shè)計與制造
用于重新分布層（RDL）面板級封裝和玻璃面板曝光的大尺寸基板生產(chǎn)型掩模對準(zhǔn)器或泛光曝光系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：Model 6020 全自動掩模曝光機

更新時間：2025-07-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

Model 6020 全自動掩模曝光機

Model 6020 全自動掩模曝光機

6020 型是一款針對先布線型面板級*封裝（PLP）及大尺寸玻璃面板曝光市場需求而設(shè)計的大面積全自動生產(chǎn)型掩模對準(zhǔn)器或自動泛光曝光系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用 OAI *的光束光學(xué)技術(shù)，配備 1KW-8KW 功率的紫外光源，光束尺寸覆蓋 12 英寸 ×12 英寸至 20 英寸 ×20 英寸，提供均勻度≤3%-5% 的光束。在掩模對準(zhǔn)模式下，系統(tǒng)可實現(xiàn)≤2.0μm 的光刻分辨率。

頂面 / 底面對準(zhǔn)

高吞吐量

1 千瓦–8 千瓦準(zhǔn)直光束光源，光束尺寸從 12 平方英寸到 20 平方英寸

光源光束均勻性達(dá) 3-5%

用于自動對準(zhǔn)的高速編碼器和電機

SECS/GEM 通信協(xié)議兼容性

多種面板處理能力

12 平方英寸到 20 平方英寸的面板

可選分步卡盤，用于子面板加工

14 平方英寸到 24 平方英寸的掩模插入件

楔形效應(yīng)調(diào)平

工藝重復(fù)性

<2.0 微米的印刷分辨率

遠(yuǎn)程診斷

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關(guān)鍵特性

高精度對準(zhǔn)系統(tǒng)：可選配 Smart cam 高分辨率 CCD 相機系統(tǒng)，結(jié)合 OAI 圖案識別軟件，實現(xiàn)精確的頂面自動對準(zhǔn)和便捷操作。
靈活的基板處理能力：支持從超薄到超厚及鍵合面板等多種基板厚度，基板卡盤具備 XYZ 軸及 θ 角運動功能，含步進(jìn)功能，可處理整版或拼接在大面板上的子面板。
自動化集成方案：采用機器人上下料系統(tǒng)，可獨立運行或與光刻膠處理設(shè)備集成。
工藝穩(wěn)定性保障：OAI 6020 系列在性能、可靠性和重復(fù)性方面優(yōu)秀表現(xiàn)，是先布線型面板級封裝生產(chǎn)及大面積玻璃面板曝光的理想選擇。

Model 6020 全自動掩模曝光機